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SR膜厚儀采購項目 公開招標公告

作者： 大族激光

一、項目基本情況：

項目編號：DZZB20251101

項目名稱：SR膜厚儀采購項目

項目地點：蘇州市虎丘區五臺山路528號光電產業園13幢。

項目要求：因公司生產需要，采購SR膜厚儀設備。

此次招標項目的設備清單如下：

序號

設備名稱

詳細參數

需求數量

單位

1

SR膜厚儀

1、測試范圍：2寸~12 寸標準晶圓；；

2、支持2寸~12寸晶圓內單點和自定義點數 mapping 測試；

3、移動平臺范圍：≥ 200*200mm，有定位功能；

4、測量光斑大小:≤1.5mm ；

5、膜厚測量范圍:15nm-100um；

6、膜厚絕對精度:0.2%；

7、光源:進口鹵素燈，平均壽命>4000h；

8、測量軟件：具有折射率和消光系數分析能力，支持自定義測量模型建立，并有存儲讀取功能。可自動擬合膜厚，測量結果有圖表輸出，mapping測量時有等高線、3D圖顯示。測量結果以光譜結果或測量結果導出。

9、電源：単相２２０Ｖ±１０Ｖ ，５０／６０Ｈｚ±１Ｈｚ

1

臺


二、投標人的資格要求:

1、具備該產品生產資質或者合格代理資質，能有效提供售后服務，具有獨立法人資格并依法取得企業營業執照，營業執照處于有效期內，運營正常，成立時間須滿1年，生產類供應商經營范圍必須涵蓋所投標產品，不接受個體工商戶投標；

2、投標人不能是招標方在職員工創立、入股的公司，不能是與招標方在職員工存在利益、親屬關系的公司，不能是與招標方有競爭關系的在離職員工創立、入股的公司；

3、須接受簽訂大族《安全環保協議》、《廉潔交易協議》；

4、須提供增值稅專用發票；

5、須提供質量承諾或售后服務承諾文件；

6、須提供經營場所的租賃合同或房產證復印件；

7、須提供能證明企業履行合同的能力、企業社會責任和售后服務能力的相關資料（例：近6個月社保清單、近3個月財務報表、完稅證明）；

8、須提供最近同類型產品的銷售合同復印件（2個及以上案例，涉及敏感信息可進行保密處理）；

9、須提供產品資料說明書；

10、須提供樣品測試報告；

11、投標人認為有必要提供的聲明及其他資質證明文件。


三、保證金事宜：

本項目需要繳納投標保證金：4,000.00元（肆仟元整）


四、投標時間/地點安排：

項目報名時間：2025年11月13日8:30時至2025年12月5日17:30時（工作日內）

投標文件遞交截止時間：2025年12月8日17:30時

預計開標時間：2025年12月9日14:00時

開標地點：深圳市寶安區福永街道重慶路12號大族激光全球智造基地2棟5樓

有意者請填寫附件《投標報名表》發送至我公司供應商管理部報名。


五、對本次招標提出詢問，索取詳細的招標書及投標模板，請按以下方式聯系:

陳宏飛，0755－86632735，chenhf177625@hanslaser.com

歐陽海梅，0755-85245804，ouyhm131787@hanslaser.com




大族激光科技產業集團股份有限公司

供應商管理部

2025年11月13日


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