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LT/LN晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備

LT/LN晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、針對(duì)LT/LN材料特性開(kāi)發(fā)出的光源系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度的內(nèi)部改質(zhì)切割；
2、切割速度快，良好的崩邊控制能力，兼容正面或背面切割工藝；
3、作業(yè)無(wú)耗材，加工無(wú)材料損失；
4、全自動(dòng)作業(yè)，兼容4、6英寸晶圓；
5、提供系統(tǒng)解決方案，配套裂片、擴(kuò)片設(shè)備；
6、SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信。

產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用于音頻及視頻濾波器，衛(wèi)星濾波器，移動(dòng)通信濾波器，無(wú)線遙控諧振器，等LT/LN襯底晶圓的改質(zhì)切割，終端產(chǎn)品服務(wù)于手機(jī)、對(duì)講機(jī)、衛(wèi)星通信、航空航天等高端通信領(lǐng)域。


產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

晶圓襯底

LT/LN襯底

晶圓尺寸

4英寸、6英寸

晶圓厚度

50μm-500μm

切割速度

600mm/s-800mm/s

定位精度

重復(fù)定位精度：±1μ  定位精度：±1μm

傳輸系統(tǒng)

Load port, robot, aligner

長(zhǎng)x寬x高LxWxH

2070mm×1420mm×2238mm


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