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解決方案

大族激光多年來注重產(chǎn)品研發(fā)、科技創(chuàng)新投入與沉淀，緊隨高質(zhì)量發(fā)展的推進步伐，打破關(guān)鍵核心技術(shù)壁壘；并基于自身產(chǎn)品獨特優(yōu)勢，不斷豐富全場景解決方案，賦能全球多個市場千行百業(yè)終端應(yīng)用實例。

全自動激光全切設(shè)備

產(chǎn)品特點 1、自研多光路系統(tǒng)，兼容多種材質(zhì)晶圓加工；
2、全新自動涂膠清洗系統(tǒng)，更精準的控制膠水用量；
3、多重過濾系統(tǒng)，有效的收集有毒粉塵，保障人員安全；
4、新軟件架構(gòu)，高質(zhì)量的硬件，保障參數(shù)數(shù)據(jù)一致性；
5、 SEMI S2認證，設(shè)備符合相關(guān)的SEMI要求標準。

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產(chǎn)品應(yīng)用

主要用于半導(dǎo)體行業(yè)VCSEL芯片，BAR條產(chǎn)品的切割制程，兼容砷化鎵、磷化銦、硅晶圓的激光切割。

產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容	技術(shù)參數(shù)
加工材料	砷化鎵GaAs、磷化銦InP、硅Si
可加工產(chǎn)品尺寸	4inch、6 inch、8 inch
可加工產(chǎn)品厚度	50um-200um
定位精度	直線度：±1μm，重復(fù)定位精度：±1μm
激光波長	355nm、1064nm
長×寬×高 (L × W × H)	1140mm×1740mm×1750mm

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解決方案

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