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解決方案

大族激光多年來注重產品研發、科技創新投入與沉淀，緊隨高質量發展的推進步伐，打破關鍵核心技術壁壘；并基于自身產品獨特優勢，不斷豐富全場景解決方案，賦能全球多個市場千行百業終端應用實例。

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全自動晶圓激光開槽設備

產品特點 1.采用特殊定制的脈沖寬度激光加工，專為晶圓激光加工定制；
2.采用超短脈沖寬度加工，有效提高切割線品質；
3.特殊定制的脈沖寬度開槽后，熱影響區<2um；
4.整合多種激光微加工技術，切割效率和工藝窗口兼備；
5.多種常規切割功能組合切換選擇；
6.采用Mask+TOP-HAT光斑組合模組；
7.經過優化的雙光路加工模組；
8.采用高精度視覺檢測系統；
9.可兼容8英寸和12英寸；
10.自動上下料功能，無人值守全自動運行，批量化生產。

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產品應用

應用范圍：Lowk晶圓，GaN晶圓，非lowk晶圓

產品參數

主要參數	加工尺寸	8inch、12inch
	加工速度	100mm/s~600mm/s
	加工精度	≤±3μm
	平臺參數	600mm*600mm
	激光器參數	532nm，25W
	稼動率	＞0.95